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반도체 공정& 소자/기기, 장비, 용액, 측정6

Developer: TMAH vs KOH 보호되어 있는 글 입니다. 2023. 5. 17.
Delta Mode Keithely는 delta mode를 처음으로 개발하였으며, 이는 전압, 저항에 대한 low noise measurements를 Model 2182 Nanovoltmeter와 triggerable external current source로 진행하기 위함이었다. 필수적으로, delta mode는 자동저으로 current source의 signal polarity를 alternate 하게 끔 만들며, 이로 인해 nanovoltmeter는 각 polarity를 읽게된다. 이 전류 반전 기술은 constant thermoelectric offsests을 사라지게끔 하며, 결과가 오로지 전압에 의한 것임을 확신시킨다. 이 기술은 모델 시리즈 622X와 모델 2182A의 delta mode에 incorporat.. 2023. 3. 6.
Bias Tee Bias Tee는 bias RF circuits에 DC전류 혹은 DC전압을 공급하기 위해 사용되는 component이다. Bias Tee는 3단자 소자이다. 소자의 구조는 위의 그림과 같다. Port1에 RF와 DC 모두 존재하는 신호가 들어면, Capacitor는 모든 DC 신호를 막으며 Port2에 오로지 AC/RF 신호만 통과할 수 있게 한다. 반면에 회로 안의 Inductor는 포트3으로 통과하려는 모든 RF 신호를 막으며, 오로지 DC 신호만 통과할 수 있게 만든다. 2021. 8. 25.
Omnicoat: Adhesion Promoter/Release Layer 해당 게시글은 Omnicoat 게시글을 바탕으로 작성되었습니다. 옴니코트는 PR, 혹은 다른 물질을 제거(Lift Off)하기 어려울때, 이를 용이하게 해주는 물질이다. It also increases adhesion of SU-8 and SU-8 200 resists. Material Attributes - Easy, Fast, Clean,& Safe removal - Uses existing stripeers and processes - Produces a very thin film - Applied by spin coating - Adhesion prometer Benefits - Enables stripping of SU-8 and SU-8 2000 resists so that reworks ca.. 2021. 6. 28.
Photoresist (PR) & E-beam resist (ER) Positive PR - Negative PR - Positive ER - Negative ER - HSQ 해당 게시글은 AZ9260 Photoresist 게시글을 바탕으로 작성되었습니다. 해당 게시글은 Merck사의 AZ P400 Series Datasheet를 기반으로 작성되었습니다. Thickness Grades - AZ P4110 : $ 1.0-3.0 \mu m $ - AZ P4210 : $ 2.0-4.0 \mu m $ - AZ P4330-RS : $ 3.0-5.0 \mu m $ - AZ P4400 : $ 4.0-6.0 \mu m $ - AZ P4620 : $ 6.0-20 \mu m $ - AZ P4903 : $ 10.0- >30 \mu m $ Typical Spin Curves 2021. 6. 28.
What is Lock-in Amplifier? 해당 글은 AMETEK사의 What is Lock-in Amplifier? 글을 번역한 글입니다. ​ In its most basic form a lock-in amplifier is an instrument with dual capability. It can recover signals in the presence of an overwhelming noise background or, alternatively, it can provide high resolution measurements of relatively clean signals over several orders of magnitude and frequency. However, modern instruments offer far more th.. 2021. 6. 10.