1. Photolithography
Photolithographic Process (노광공정)
노광공정은 크게 다음의 과정을 합친것을 총칭한다. Cleaning wafers → Depositing barrier layer → Coating with photoresist → Soft baking → Aligning masks → Exposing pattern → Developing photoresists → Hard baking → Etching
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하나씩 알아가볼 예정입니다.
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